Tanks für Slurry-Versorgungssysteme in der Halbleiterindustrie

Chemisch beständig und hochrein

Air Liquide,Weltmarktführer für technische und medizinische Gase sowie damit verbundener Dienstleistungen, hat bei Angenstein AG 24 Tanks in Auftrag gegeben. Sie werden eingesetzt für Slurry-Versorgungssysteme in der Halbleiterindustrie.

Die Versorgungssysteme werden für den Einsatz von Suspensionensubmikroner Feststoffpartikel als Poliermittel (Slurry) beim chemisch-mechanischen Polieren (CMP) von Waferoberflächen in der Halbleiterindustrie verwendet.

Die Tanks bestehen aus einem produktberührenden Inliner aus Ethylen Chlortrifluorethylen (E-CTFE), welcher zur Erreichung der notwendigen Standfestigkeit aussen mit glasfaserverstärktem Kunststoff (GFK) auflaminiert wurde.

Die Anschlussstutzen wurden komplett aus Perfluoralkoxy Copolymer (PFA ) gefertigt. PFA ist ein Fluorkunststoff von sehr hoher Reinheit welcher verschweisst werden kann. Die Eigenschaften sind identisch wie diejenigen von Polytetrafluorethylen (PTFE) und schliessen die chemische Beständigkeit, weite Temperatureinsatzfähigkeit sowie Widerstandsfähigkeit gegen Alterung und Witterung, den geringen Reibungswiderstand und die gute elektrische Isolation ein. E-CTFE hat sehr gute elektrische Isolierungseigenschaften, eine gute chemische Beständigkeit und eine geringe Durchlässigkeit. Die Widerstandsfähigkeit gegen Alterung und Witterung aller Art ist hervorragend. Die besondere chemische Beständigkeit und Reinheit dieser Fluorkunststoffe sind Voraussetzung für den Einsatz in der Halbleiterindustrie.

Kategorien

Technik in Kunststoff , Prozess- und Verfahrenstechnik , Halbleiterindustrie